【簡(jiǎn)介：】這么說(shuō)吧，研究和制造原子彈比高端光刻機(jī)簡(jiǎn)單，你能造的出原子彈，不一定能造出光刻機(jī)，各種高精度零部件，軟硬件是全球湊起來(lái)的最頂級(jí)，試想一下，這么肥的蛋糕為什么美國(guó)不去吃？還是因?yàn)?
這么說(shuō)吧，研究和制造原子彈比高端光刻機(jī)簡(jiǎn)單，你能造的出原子彈，不一定能造出光刻機(jī)，各種高精度零部件，軟硬件是全球湊起來(lái)的最頂級(jí)，試想一下，這么肥的蛋糕為什么美國(guó)不去吃？還是因?yàn)槌圆幌?，成本太高?/p>
EUV的光路系統(tǒng)應(yīng)該是反射鏡組。透射紫外或極紫外的光學(xué)材料太少了。包括鏡頭材料，膜系，膠系。同時(shí)微縮百萬(wàn)倍的光學(xué)系統(tǒng)消像差只能采用非球面加工（計(jì)算機(jī)控制）。另辟新徑，提高分辨率可采用粒子光源（射線光源）。也可研究非線性晶體對(duì)現(xiàn)有短波長(zhǎng)激光進(jìn)行倍頻，四倍頻轉(zhuǎn)換以獲得更短波長(zhǎng)的光源。
目前沒有一個(gè)國(guó)家可以單獨(dú)研發(fā)先進(jìn)的光刻機(jī)。噴子別動(dòng)不動(dòng)就是中國(guó)這不行那不行的。我們整體先進(jìn)科技，技術(shù)，工藝確實(shí)不如日韓歐美。這是事實(shí)，但我們整體科技最全面。其他國(guó)家都是自己最拿手的領(lǐng)域領(lǐng)先中國(guó)，并不是單個(gè)國(guó)家全面領(lǐng)先中國(guó)。
其實(shí)這是一個(gè)很深層次、也很尷尬的問題。世界上沒有任何一個(gè)國(guó)家可以完全自主生產(chǎn)所有的產(chǎn)品，包括美國(guó)和荷蘭。都是采用全球采購(gòu)集成的模式，我們面臨的困難恰恰是人家不讓我們參與全球采購(gòu)，我們進(jìn)入不了人家的高科技俱樂部。因此，我們要做的只能是盡可能擁有卡西方發(fā)達(dá)國(guó)家脖子的手段，在他們對(duì)我們實(shí)施禁售的時(shí)候，我們也有反擊他們的手段，并讓他們難以承受。只有達(dá)到某種平衡，確保擁有相互摧毀能力的時(shí)候，我們才能真正的不受制于人。
話是這么說(shuō)，整合這些零件需要的技術(shù)實(shí)力，一點(diǎn)也不比造這些零件少。如果ASML突然沒了，世界的芯片產(chǎn)業(yè)也會(huì)倒退幾年。全球產(chǎn)業(yè)鏈下你中有我，我中有你?，F(xiàn)在最大的問題就是你想擁抱全球產(chǎn)業(yè)鏈，別人卻在聊脫鉤。爭(zhēng)取世界上的絕大多數(shù)，打造最廣泛的世界統(tǒng)一戰(zhàn)線，才有可能實(shí)現(xiàn)民族的復(fù)興。
要自己造光刻機(jī)，說(shuō)到底又要?dú)w根制造技術(shù)了，沒有精密制造的機(jī)床，還是造不出來(lái)，如同華為有了芯片設(shè)計(jì)能力，卻造不出來(lái)一樣，所以歸根到底還是我國(guó)的基礎(chǔ)技術(shù)太落后，近三十年來(lái)，資金都流向應(yīng)用技術(shù)，如賣貨的，送外賣的，搭車軟件等，這些收益高，來(lái)錢快呀，國(guó)家的政策和風(fēng)向如此，華為無(wú)奈，更多企業(yè)更無(wú)奈！
科學(xué)技術(shù)的問題一定是很嚴(yán)謹(jǐn)?shù)膯栴}，研發(fā)需要踏踏實(shí)實(shí)的沉淀，而我們國(guó)家很多領(lǐng)域都有一個(gè)不太正確的理念（個(gè)人看法）需要改變，就是所謂的彎道超車。
沒有先進(jìn)的光刻機(jī)，總有老舊一些的光刻機(jī)，我們不去趕超高度集成的體積更小的芯片，我們可自主生產(chǎn)芯片就可了，功耗大些，成品體積大些沒關(guān)系，只要芯片功能緊跟或趕超世界就好，光刻機(jī)慢慢來(lái)。
超大規(guī)模集成電路也僅僅是20世紀(jì)下半葉的事情，人家一個(gè)小國(guó)能在短短二三十年里研發(fā)出光刻機(jī)，說(shuō)明光刻機(jī)不是上帝造的，無(wú)論是華為還是上海，都是有能力制造的，無(wú)非是需要時(shí)間資金。放心，不出十年，我們就能造出高精度光刻機(jī)，不要把這種技術(shù)說(shuō)的那么神乎其神，高不可攀。
跟強(qiáng)大的研發(fā)投入無(wú)關(guān)，asml是歷史形成的.，光刻機(jī)涉及的各方面技術(shù)基本是人類科技發(fā)展的極限和最新可應(yīng)用成果，供給量非常有限，asml壟斷了供給別人基本得不到，美國(guó)也只能想辦法霸住而不是自己也搞個(gè)asml. 現(xiàn)在美國(guó)完全違背自由貿(mào)易原則我們只能自己玩命追趕，否則就會(huì)處處受制。
光刻機(jī)，以我們現(xiàn)在的國(guó)力，以我們現(xiàn)在的科技水平，還不能研治出來(lái)，說(shuō)明我們還沒有集中力量辦大事，我們國(guó)家有這么多的大學(xué)，有那么多的科研結(jié)構(gòu)，是否有統(tǒng)一的組織，是否有計(jì)劃有步驟推進(jìn)，有那么多的海內(nèi)外中華優(yōu)秀人才、各學(xué)科的頂級(jí)科學(xué)家。
錢是不缺，唯一缺人才技術(shù)，我們也要學(xué)美國(guó)，吸納全世界的精英人才為我中國(guó)所用，以前的明星演員片酬不是很高嗎，科研科學(xué)家技術(shù)人才不重視，永遠(yuǎn)都發(fā)展不起來(lái)，科學(xué)技術(shù)是第一生產(chǎn)力。
華為在通信領(lǐng)域，依靠自身和國(guó)家財(cái)力的支持，獲得非常高的成就。但是他并不是一個(gè)可以跨行業(yè)的企業(yè)，從小米的澎湃，就可以看出，獲得arm的指令集、架構(gòu)和IP，就可以造出來(lái)手機(jī)的soc（外掛基帶），前期一般企業(yè)沒有那么強(qiáng)大的財(cái)力支撐。華為可以依靠通信的收入來(lái)進(jìn)行補(bǔ)貼，實(shí)現(xiàn)了現(xiàn)在的成就。我其實(shí)挺想說(shuō)一句話，就是，阿華又不是無(wú)所不能的，老實(shí)說(shuō)華為的一些我們所知道的牛逼的技術(shù)，這些技術(shù)本該是應(yīng)由國(guó)家層面的科技來(lái)研發(fā)，但華為卻做到了，連國(guó)家都沒能做到，華為承受了太多，我們應(yīng)該更多需要華為這樣的公司，來(lái)展現(xiàn)中國(guó)的實(shí)力；為什么總有人好奇華為有啥牛逼的？提啥都提華為，那是因?yàn)槿A為在科技領(lǐng)域有著自己的核心和自己的一方土地，我們應(yīng)多需要華為這樣的公司。
什么東西都自己做，莫說(shuō)一家公司，一個(gè)國(guó)家也無(wú)法做到。如果華為做出了光刻機(jī)，那么做芯片的原材料呢？軟件自己做，那么做軟件的架構(gòu)呢？更有不可逾越的是標(biāo)準(zhǔn)，你總不能自己搞一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)吧！你用到國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)就要用到別人的專利，如果你是這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的參與者，別人也要用到你專利，只有通過(guò)合作互相授權(quán)和付費(fèi)來(lái)解決。
我有一個(gè)非常出色的光刻機(jī)想法，既簡(jiǎn)單又要求不高。我是受到了科學(xué)家最早測(cè)量萬(wàn)有引力方法的啟示?？茖W(xué)家用光做扭矩指針，細(xì)微的變動(dòng)就會(huì)引起很遠(yuǎn)指針的變動(dòng)。我們可以將這個(gè)過(guò)程反過(guò)來(lái)。在遠(yuǎn)處沿著電路圖（相對(duì)來(lái)說(shuō)大點(diǎn)的）移動(dòng)（指針端）移動(dòng)，最后在另一端只移動(dòng)很危小很微小的距離。這樣只是機(jī)器可能會(huì)做的大一點(diǎn)而已。
光刻機(jī)是一個(gè)成品，里面涉及材料，零件，組裝，設(shè)計(jì)很多環(huán)節(jié)，每個(gè)環(huán)節(jié)都對(duì)你封鎖，你自己研發(fā)必須每個(gè)環(huán)節(jié)都跟上，一個(gè)掉鏈子都不行，或者你某個(gè)環(huán)節(jié)世界第一，別人愿意拿其他零件和你交易，總之不是那么簡(jiǎn)單的造臺(tái)機(jī)器，好比送人上太空，里面也涉及很多環(huán)節(jié)，很多東西都要跟上，我們的大學(xué)需要加大基礎(chǔ)學(xué)科的投入，不要大家都想著掙錢，大家都去學(xué)金融，法律，計(jì)算機(jī)，基礎(chǔ)學(xué)科沒人愿意學(xué)。嘴硬是解決不了問題的。認(rèn)清自己，找到差距才能被人坐標(biāo)，才有前進(jìn)的方向。
向世界頂尖技術(shù)沖鋒沒有那么簡(jiǎn)單，你在研發(fā)，人家也沒閑著。而且研發(fā)需要有雄厚的技術(shù)儲(chǔ)備多代人的累積強(qiáng)大的頂尖人才隊(duì)伍。做一個(gè)主權(quán)國(guó)家，都不想讓世界人瞧不起，都想掌握頂尖技術(shù)。想法和思路是正確的，不奮起直追不搞頂尖的研發(fā)是沒有出路的，但研發(fā)了不見得趕超。這也是客觀現(xiàn)實(shí)存在的所以必須認(rèn)清這一點(diǎn)。
華為有沒有能力研究光刻機(jī)？我們沒有華為是萬(wàn)萬(wàn)不能的，但華為也不是萬(wàn)能的！目前華為是沒有這個(gè)能力。不過(guò)按照光刻機(jī)的原理，只要華為大手筆投入從全球廣泛挖來(lái)光刻機(jī)研究人才投入到光刻機(jī)的研發(fā)中去，是可以研發(fā)出來(lái)的。
光刻機(jī)可以說(shuō)是需要最頂尖精密的儀器之一，技術(shù)含量高而且零部件也高，涉及到系統(tǒng)集成、材料、精密光學(xué)、精密運(yùn)動(dòng)、精密物料傳輸、高精度微環(huán)境控制等等各種先進(jìn)的技術(shù)。但光刻機(jī)的原理并不是不能攻克的，就如目前國(guó)內(nèi)的上海微電子設(shè)備集團(tuán)就已經(jīng)有自己的光刻機(jī)，雖然是低端光刻機(jī)原理是差不多的。
不過(guò)可惜的是，只是研發(fā)出來(lái)沒啥用，沒有相關(guān)高精細(xì)零部件的配套，也是空話一句。也就是制造不出來(lái)，不能達(dá)到制造高端芯片的要求。如果只是研發(fā)出低端光刻機(jī)也沒啥用，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)已經(jīng)具備而重復(fù)了，我們要的是高端光刻機(jī)。
光刻機(jī)的市場(chǎng)需求量小，基本上被荷蘭ASML、日本尼康、國(guó)內(nèi)上海SMEE公司所壟斷。上海SMEE公司具備研發(fā)和生產(chǎn)光刻機(jī)的能力，但不能研發(fā)高端光刻機(jī)而且更沒有辦法引進(jìn)高端高精細(xì)零部件而沒有辦法制造高端光刻機(jī)。為什么？
目前我們要制造高端光刻機(jī)所需周邊產(chǎn)業(yè)鏈不能滿足要求，需要高精尖的光源、高精度軸承、反射鏡片等等，這些部件ASML也得要從歐美日等公司采購(gòu)，資金和技術(shù)也要依賴于他的大客戶如三星、英特爾、臺(tái)積電等。但這些高精尖的零部件，歐美日又是對(duì)我們禁運(yùn)獲取不到了，我們只有從自己的產(chǎn)業(yè)鏈上進(jìn)行培養(yǎng)，但這個(gè)培養(yǎng)時(shí)間可不是短期的，甚至有可能培養(yǎng)不起來(lái)。
如果高端光刻機(jī)一直從ASML處獲取不到，今后如果連加工高端芯片也被限制，那也就不得不從自己研發(fā)高端光刻機(jī)的方向走?？尚械霓k法可能是有實(shí)力的相關(guān)企業(yè)聯(lián)合起來(lái)，不但攻克高端光刻機(jī)本身研發(fā)技術(shù)，同時(shí)攻克零部件技術(shù)，也許整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈就起來(lái)了。比如華為聯(lián)合上海SMEE、中科院廣電技術(shù)研究所、以及關(guān)鍵零部件的研發(fā)企業(yè)，共同組建聯(lián)合體進(jìn)行整體推進(jìn)，也許我們擁有高端光刻機(jī)甚至打垮ASML也不是夢(mèng)。
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